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      超声波扫描显微镜

      超声波扫描显微镜使用高频超声波(15MHz~2GHz)对试件内部、亚表面和表面等进行观察及定性定量分析。其可以非破坏性 、精细、高灵敏度地对试件微观形貌、微损伤及力学性能进行表征,广泛应用于微电子、集成电路 、材料、航空航天和生物等领域的科学研究及过程质量控制。


      产品特点

      15MHz~500MHz超声显微检测

      4通道实时高效成像

      缺陷检测 :内部空洞、分层、夹杂、气泡和裂纹 ,用于晶元键合 、SMT焊接、芯片封装、MEMS器件 、触摸层、复合材料、材料涂覆层等过程质量控制

      材料表征与分析 :力学性能测量、金相分析、蠕变孔洞、疲劳微裂纹、粘接强度等

      参数配置

      Z轴行程

      120mm

      扫描区域

      用户自定义

      脉冲形式

      负极性脉冲

      供电方式

      交流电220V±10%,频率50Hz±5%

      结构形式

      台式

      自动对焦

      可实现表面、内部任意界面自动对焦

      时间估算

      整体及剩余用时估算

      缺陷量化

      可实现缺陷自动识别及量化

      边缘测定

      可自动寻找被测样品的中心位置和样品边缘,自动设定扫描范围

      力学性能测试

      可用于材料表层力学性能分析,具备表面波速、泊松比、杨氏模块、剪切模量和体积模量等参数测量功能

      表面跟踪扫描

      可设置参考闸门 ,实现成像闸门跟随功能 。可解决由于样品不平造成的图像失真问题


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      • 超声波扫描显微镜
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